空气过滤器典型使用场所分析

1 芯片厂

当今，半导体芯片厂对出产环境空气洁净程度最挑剔，对空气过滤器的需求也最苛刻。粘在芯片上的粉尘能够形成断路、短路而直接影响成品率。

芯片厂用的高效过滤器和风机过滤单元（FFU）出厂前要通过扫描测验。芯片厂不认钠焰法和DOP法的帐。芯片厂格外介意过滤器上能够的微量蒸发元素。近几年呈现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤资料，这种资料没有蒸发物，但它带静电，过滤后的空气要进行电中和以消除离子，少了个危险，多了个费事。

　　但当芯片的线宽小到0.5um时，大家发现空气中的化学污染物成了影响成品率的首要损害，所以，后建的芯厂空调体系中遍及装备了化学过滤器。芯片厂说的化学过滤器即是活性炭过滤器，它的原理和制作技能并不杂乱。许多情况下，描绘师和现场人员也说不清污染物的品种和浓度，因而，芯片厂用的化学过滤器应具有两个特色：广谱吸附功能、足够多的吸附资料。如果能断定污染物品种，就可对吸附资料进行有针对性的化学处置，以增强对特定污染物的吸附才能。过滤器供货商有时还要供给相应的现场检测效劳，以协助用户断定化学过滤器的使用情况，这就需求供货商中有搞化学过滤的教授，并与威望实验室有亲近的联系。

　　半导体工业并非"无烟工业"，它也有环境疑问。为下降环境危险，有些芯片厂的排风体系也装有化学过滤器。

　　2 机场空调体系

　　飞机场是来宾对城市的第一印象，机场空调体系标明主人的实力和空调描绘师的水平。在发达国家大型机场的空调体系中，空气过滤器常见装备为：

　　G4～F6预过滤器→活性炭过滤器→F7结尾过滤器

　　F7过滤器（Ashhae Dust-spot 85%）是上层次的公共场所中最常见过滤器。通过F7过滤器后，空气含尘浓度能够到达旅游景区的水平。国家规范中规则候机厅可吸入颗粒物的浓度上限为0.15mg/m3，这是从清洁视点思考的最低需求，机场室外空气也比这个浓度低．描绘中，机场空调思考的是层次，而不仅仅是清洁．

　　机场有汽油味，消除气味的活性炭过滤器成了发达国家机场空调中的规范装备．这里没多少技能可言．活性炭过滤器查验机场投资者和运营者的实力．

　　3 洁净室结尾过滤器

　　过滤器是通用商品，不管什么等级的洁净室，所用的高效过滤器是相同的．一但过滤器的质量一有了确保，通风参数（换气次数或均匀风速）就成了决议洁净工程质量的关键要素。洁净室描绘时应思考的一些要素。